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作者：admin 更新時(shí)間：2018-01-30
mems'加速度傳感器原理：當(dāng)儀表殼體沿輸入軸作加速運(yùn)動(dòng)時(shí)，檢測(cè)質(zhì)量因慣性而繞輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)，傳感元件將這一轉(zhuǎn)角變換為電信號(hào)，經(jīng)放大后饋送到力矩器構(gòu)成閉環(huán)
mems陀螺儀原理：陀螺儀利用科里奧利力——旋轉(zhuǎn)物體在有徑向運(yùn)動(dòng)時(shí)所受到的切向力。假設(shè)旋轉(zhuǎn)物體有徑向速度Vr，那么將會(huì)產(chǎn)生切向科里奧利加速度
其中mems加速度傳感器分為三種
1、壓電式：壓電式MEMS加速度計(jì)運(yùn)用的是壓電效應(yīng)，在其內(nèi)部有一個(gè)剛體支撐的質(zhì)量塊，有運(yùn)動(dòng)的情況下質(zhì)量塊會(huì)產(chǎn)生壓力剛體產(chǎn)生應(yīng)變，把加速度轉(zhuǎn)變成電信號(hào)輸出。
2、容感式：容感式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部也存在一個(gè)質(zhì)量塊，從單個(gè)單元來看它是標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器。加速度的變化帶動(dòng)活動(dòng)質(zhì)量塊的移動(dòng)從而改變平板電容兩極的間距和正對(duì)面積通過測(cè)量電容變化量來計(jì)算加速度
3、熱感式：熱感式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊，它的中央有一個(gè)加熱體，周邊是溫度傳感器里面是密閉的氣腔工作時(shí)在加熱體的作用下氣體在內(nèi)部形成一個(gè)熱氣團(tuán)，通過慣性熱氣團(tuán)的移動(dòng)形成的熱場(chǎng)變化讓感應(yīng)器感應(yīng)到加速度值。
以上倆種mems形式的傳感器和陀螺儀是目前和未來將要發(fā)展的重要趨勢(shì)。
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